氣流方向：

70%循環(huán)、30%排放

主過濾器類型：

HEPA

排氣過濾器類型：

HEPA

滅菌燈類型?:

石英高效紫外線殺菌燈

環(huán)境溫度（℃）：

10~30

相對濕度（RH）：

≤85%（25℃時）

大氣壓力（Pa）：

80~105

主過濾器效率（％）：

≥99.999(針對0.1~0.2μm的微粒系)

排氣過濾器效率（％）：

≥99.99(針對0.3μm的微粒系)

流入氣流平均流速（m/s）：

0.53

下降氣流平均流速（m/s）：

0.35

下降氣流控制精度（m/s）：

±0.015

風速分辨率（m/s）：

0.01

壓差顯示范圍（Pa）：

0~500

壓差顯示精度：

±1%

噪音水平dB（A）

﹤67

振動半峰值（μm）：

≤5

照度（Lx）：

≧650

HEPA（ULPA）狀態(tài)自檢功能

OK

HEPA（ULPA）失效預警功能

OK

HEPA（ULPA）失效報警功能

OK

HEPA（ULPA）破損報警功能

OK